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日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀SE-101這是一款高速映射橢圓儀,可以測量 φ8″ 晶圓的整個表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它支持各種膜厚分布測量。
產品型號:SE-101
廠商性質:經銷商
更新時間:2023-04-07
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日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀SE-101
日本photonic-lattice膜厚分布測量檢測儀SE-101
這是一款高速映射橢圓儀,可以測量 φ8″ 晶圓的整個表面(最大?300 mm 是可選的),可以高速和高密度測量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測量。
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| 光源 |
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| 尺寸 (寬 x 深 x 高) |
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| 兼容透明基材 |
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| 尺寸 (寬 x 深 x 高) |
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| 重量 |
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| 界面 |
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| 界面 |
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| 軟件 |
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